Options
Titano okisdų formavimas vandens garų plazmoje
Å io darbo literatÅ«ros apÅŸvalgoje aptariami plazmos tipai, plazmos charakteristikos bei sÄ veika su medÅŸiaga. Aptariama plazminÄs implantacijos technologija. Trumpai apibÅ«dinama vandens garų plazma ir jos panaudojimas. ApÅŸvelgiama titano oksido struktÅ«ra bei jo panaudojimas katalizatorių gamybai, kurie gali bÅ«ti skirti skaldyti vandens molekules ir gaminti vandenilį. Darbe paaiÅ¡kinamas magnetroninis nusodinimas bei jo privalumai. Darbo metu buvo oksiduojamas titanas vandens garų plazmoje. Titano oksidacija priklauso nuo daugybÄs plazmoje vykstanÄių procesų (adsorbcija, sulaikymas, vakansijų susidarymas ir pan.). Titano oksido panaudojimas yra labai platus dabartiniu metu. Aptariama Å¡io eksperimento technologija bei atliekama oksiduotų titano dangų analizÄ. SEM, XRD, AES, GDOES analizÄs metodais buvo tiriama titano dangos oksidacija ir aiÅ¡kinamas oksidacijos mechanizmas.
Types of plasma, characteristics and plasma interaction with solids are discussed in the literature review of this paper. Also, the plasma immersion ion implantation are described. Water vapour plasma are briefly discussed. Titanium oxide structure and itâs usage for catalyst which could split water molecules are reviewed. Magnetron deposition are explained in this paper. The titanium film was oxidized by water vapour plasma on experiment. The oxidation of titanium depends on many processes in plasma (adsorption, trapping, formation of oxygen vacancies and etc.). Appliance of titanium oxide is very large in recent times. Experimental technology are discussed and plasma treated films are analysed. Titanium oxidation was analysed by SEM, XRD, AES, GDOES. Oxidation mechanism was explained in this paper.