Please use this identifier to cite or link to this item:https://hdl.handle.net/20.500.12259/121669
Type of publication: master thesis
Field of Science: Fizika / Physics (N002)
Author(s): Urbonavičius, Marius
Title: Titano okisdų formavimas vandens garų plazmoje
Other Title: Formation of titanium oxides using water vapour plasma
Extent: 55 p.
Date: 25-Jan-2012
Keywords: plazma;titano oksidas;vandens garų plazma;plazminė joninė implantacija;plasma;titanium oxide;water vapor plasma;plasma immersion ion implantation
Abstract: Šio darbo literatūros apžvalgoje aptariami plazmos tipai, plazmos charakteristikos bei sąveika su medžiaga. Aptariama plazminės implantacijos technologija. Trumpai apibūdinama vandens garų plazma ir jos panaudojimas. Apžvelgiama titano oksido struktūra bei jo panaudojimas katalizatorių gamybai, kurie gali būti skirti skaldyti vandens molekules ir gaminti vandenilį. Darbe paaiškinamas magnetroninis nusodinimas bei jo privalumai. Darbo metu buvo oksiduojamas titanas vandens garų plazmoje. Titano oksidacija priklauso nuo daugybės plazmoje vykstančių procesų (adsorbcija, sulaikymas, vakansijų susidarymas ir pan.). Titano oksido panaudojimas yra labai platus dabartiniu metu. Aptariama šio eksperimento technologija bei atliekama oksiduotų titano dangų analizė. SEM, XRD, AES, GDOES analizės metodais buvo tiriama titano dangos oksidacija ir aiškinamas oksidacijos mechanizmas.
Types of plasma, characteristics and plasma interaction with solids are discussed in the literature review of this paper. Also, the plasma immersion ion implantation are described. Water vapour plasma are briefly discussed. Titanium oxide structure and it‘s usage for catalyst which could split water molecules are reviewed. Magnetron deposition are explained in this paper. The titanium film was oxidized by water vapour plasma on experiment. The oxidation of titanium depends on many processes in plasma (adsorption, trapping, formation of oxygen vacancies and etc.). Appliance of titanium oxide is very large in recent times. Experimental technology are discussed and plasma treated films are analysed. Titanium oxidation was analysed by SEM, XRD, AES, GDOES. Oxidation mechanism was explained in this paper.
Internet: https://hdl.handle.net/20.500.12259/121669
Affiliation(s): Vytauto Didžiojo universitetas
Appears in Collections:VDU, ASU ir LEU iki / until 2018

Files in This Item:
Show full item record
Export via OAI-PMH Interface in XML Formats
Export to Other Non-XML Formats


CORE Recommender

Page view(s)

4
checked on Mar 30, 2021

Download(s)

5
checked on Mar 31, 2021

Google ScholarTM

Check


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.